Munzvimbo iri kukurumidza kuchinja-chinja yekuisa firimu rakatetepa,zvinangwa zvekuputira mhangura zvakachena kwazvoinoramba ichiita basa guru mukugonesa kugadzirwa kwema semiconductor epamusoro, matekinoroji ekuratidzira, uye mhinduro dzesimba rinodzokororwa. Nekuda kwepasi rose kwemidziyo yemagetsi midiki, inokurumidza, uye inoshanda zviri nani ichitungamira hunyanzvi, conductivity yemagetsi yemhangura uye kuenderana kwayo nemaitiro e physical vapor deposition (PVD) zvinoita kuti zvinangwa izvi zvive zvakakosha. Sezvo mitengo yemhangura ichigadzikana padanho rakakwirira muna 2026, kutarisa kweindasitiri kwachinja kuenda kune zvinangwa zve ultra-high-purity (4N–6N) zvinovimbisa mafirimu matete asina kukanganisa uye goho repamusoro remaitiro.

Chinyorwa chino chinoongorora mhando huru dzezvinangwa zvekuputira mhangura, mabasa adzo chaiwo, maindasitiri akakosha ekushandisa, uye hunhu hwezvinhu zvinoita kuti mhangura isatsiviwe mumamiriro ezvinhu akakosha ekushanda kwepamusoro.

Mhando dzakasiyana-siyana dzezvibodzwa zvekuputira zvine hutsanana hwakanyanya, zvinosanganisira mapuratifomu akatenderera, maumbirwo akagadzirwa, uye magungano akabatanidzwa anowanzo shandiswa mumasisitimu ekuputira emagnetron.

Maitiro Akajairika Ekushandisa Mhangura Kuputira uye Mabasa Awo

Zvinangwa zvekuputira mhangura zvinogadzirwa zvichienderana nezvinodiwa chaizvo, kazhinji zvine mwero wekuchena we99.99% (4N) kusvika 99.9999% (6N), chimiro chezviyo zvakapfava, uye huwandu hwakanyanya (>99%). Mhando huru dzinosanganisira:

1. Zvinangwa zvePlanar(Mapureti eRectangular kana Sikweya)Magadzirirwo akajairika emasystem e magnetron sputtering. Aya ma flat targets anopa kukurwa kwakafanana uye kushandiswa kwakanyanya kwezvinhu munzvimbo huru.
2. Zvinangwa zveDhisiki Yakatenderera Yakanakira kutsvagisa, kugadzira, uye kugadzira macathode madiki. Madhisiki anoenderana zvakanaka nemagnetron anotenderera kana asingachinji, zvichiita kuti agone kudzora ukobvu hwefirimu nemazvo.
3. Zvinangwa zveRotary (Cylindrical kana Tubular)Yakagadzirirwa masisitimu emagnetron anotenderera, aya anobvumira mwero wekushandiswa kwezvinhu zvakanyanya (kusvika 80–90%) zvichienzaniswa nezvinangwa zvakarongwa, zvichiita kuti zvifarirwe pamitsetse yekumonera yakawanda yeindasitiri.
4. Zvinangwa ZvakasungwaInonanga ma "indium-bonded" kana "elastomer" akabatana ne "copper" kana "molybdenum backing plates" kuti ive nani pakugadzirisa kupisa uye kugadzikana kwemuchina panguva yekubuda kwe "high-power sputtering".

Mafomu aya, anowanikwa mumhando dzakajairwa uye dzakagadzirirwa kutapurira mhangura, akagadzirwa kuti plasma igadzikane zvakanaka, kubudisa zvidimbu zvishoma, uye mwero wekuisa zvinhu nguva dzose.

Maindasitiri Akakosha Ari Kushandisa Zvinangwa Zvekusveta Mhangura Muna 2026

Zvinangwa zvemhangura yakachena kwazvo zvakakosha muzvikamu zvakasiyana-siyana zvinokura zvakanyanya:

• Kugadzira Semiconductor→ Mafirimu emhangura anoshanda sezvikamu zvembeu uye zvikamu zvinodzivirira mumaitiro eDamascene ekubatanidza muma nodes epamusoro (sub-5nm).
• Mapaneru Akatsetseka Anoratidza→ Inoshandiswa muTFT-LCD, AMOLED, uye madhiraivha anochinjika emagetsi egedhi, mitsetse yetsime/yekudhonza, uye ma layers anoratidzira.
• Photovoltaics→ Zvakakosha kuCIGS (copper indium gallium selenide) masero ezuva akatetepa uye zvimiro zveperovskite tandem.
• Magirazi eOptics uye Mapfekero Ekushongedza→ Inoiswa mumagirazi ekuvaka, magirazi emotokari, uye machira anodzivirira kupenya.
• Kuchengetedza Data uye MEMS→ Inoshandiswa mukugadzira magineti ekurekodha uye masisitimu e-micro-electro-mechanical.

Nekuwedzera kuri kuramba kuchiita machipisi eAI, zvivakwa zve5G/6G, uye simba rinogona kushandiswazve, kudiwa kwemagetsi akavimbikazvinangwa zvekuputira mhangura zvakachena kwazvoinoramba yakasimba.

Mabhenefiti Akakosha uye Nei Mhangura Isingatsiviwe

Zvinangwa zvekusveta mhangura zvinopa zvakanakira zvakawanda zvehunyanzvi izvo zvimwe zvinonetsa kuwana:

1. Kufambisa Kwemagetsi Kwepamusoro— Mhangura inopa simba rakaderera rekudzivirira (~1.68 µΩ·cm) pakati pesimbi dzakajairika, zvichiita kuti kunonoka kweRC kuderedzwa uye kushanda kwemuchina kwakakwira.
2. Kubatana Kwakanaka Kwemafirimu uye Kunamatira— Zvinangwa zvakapfava zvinogadzira mafirimu akakora, asina kuremara zvakanyanya ane nhanho dzakasimba muzvikamu zvepamusoro.
3. Kufambisa Kwekupisa Kwakanyanya— Inobatsira kuti kupisa kuparadzwe zvakanaka panguva yekusvipa, zvichiita kuti simba riwedzere uye kuti mvura irambe ichidziya nekukurumidza.
4. Kuenderana neMaitiro Aripo— Kubatanidzwa zvakanaka mumaturusi ePVD akura asina matambudziko akawanda kana kuti ane zvimedu pakushandisa zvibodzwa zvemhando yepamusoro.
5. Kukwanisa Kuchinja Mari Yako— Pasinei nemitengo yepamusoro yezvinhu zvakabikwa, mhangura inopa chiyero chakanakisa chekushanda-kusvika pamutengo wehuwandu hwezvinhu zvakagadzirwa.

Kusatsiviwa muZvishandiso Zvakakosha: Kunyange hazvo aruminiyamu yaishandiswa kare pakubatanidza zvinhu, kushandiswa kwemhangura mukupera kwema1990 (IBM's damascene process) kwakavandudza zvikuru kumhanya kwechip uye kushanda zvakanaka kwesimba—mabhenefiti ayo aruminiyamu isingakwanise kutevedzera nekuda kwekudzivirira kwakanyanya. Dzimwe nzira dzakadai sesirivha dzine matambudziko emagetsi, nepo ruthenium kana cobalt zvakachengeterwa zvipingamupinyi zvakatetepa chete. Mukubatanidza zvinhu zve semiconductor uye mashandisirwo e high-frequency, kutsiva mhangura kwaizowedzera kushandiswa kwesimba, kugadzira kupisa, uye saizi yekufa—zvichiita kuti isatsiviwe pasi pemiganho yetekinoroji iripo uye inofanoonekwa.

Maonero: Kuwana Kuwanikwa Kwezvinhu Mumusika Unonyanya Kudiwa

Sezvo nzvimbo dzekugadzira dzichienderera mberi nekuita zvinhu nemazvo muna 2026, kushanda pamwe chete nevatengesi vanopa zvibodzwa zvemhangura zvine hungwaru hwakanyanya, kudzora zviyo nemazvo, uye kutevedza kwakazara kwave kukosha zvakanyanya.

Tine mhando dzakasiyana-siyana dzezvinhu zvinogadzirwa nemhangura, zvinotenderera, uye zvakagadzirwa nemhangura, uye tinopa rubatsiro rwehunyanzvi uye nekukurumidza.katarogu yezvinangwa zvekusputtering or taura nenyanzvi dzedumhinduro dzakagadzirirwa kushandiswa muma semiconductor, display, kana solar.

Zvinangwa zvekusvina mhangura zvine hutsanana hwakanyanya zviri kuramba zvichipa simba matekinoroji ari kuumba mangwana—zvichipa mashandiro asina anotsiva anogona kuenzana nawo.